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俄羅斯開發自主半導體制造裝置,要徹底擺脫美國晶片限制!

2024-11-25 12:43:29

據俄羅斯媒體cnews報道,俄羅斯工業和貿易部已下達開發200毫米直徑晶圓製造裝置的任務,用於生產拓撲結構從180奈米到90奈米的晶片。這項工作獲得了超過17億盧布(約1773萬美元)的資助。此舉是部門逐步構建俄羅斯本土光刻生產線的一部分。

俄羅斯本土化晶片製造

俄羅斯工業和貿易部委託開發的這種半導體裝置,用於對二氧化矽、鎢和銅介電層進行化學機械拋光(CMP)。為此,撥款17億盧布。這臺裝置將用於在200毫米直徑矽片上製造180奈米至90奈米的晶片。

根據技術任務書,裝置的國外功能原型是由美國應用材料公司(Applied Materials)生產的MIRRA Mesa Integrated System 200。工業和貿易部代表透露,裝置的主要使用方包括Mikron和“НМ-ТЕХ”工廠,以及其他使用化學機械拋光(CMP)工藝的企業。

“化學機械拋光是電子元件生產中的關鍵工藝之一,”工業和貿易部表示,“裝置的開發屬於電子機械製造綜合發展計劃的一部分,該計劃不僅涵蓋光刻工藝,還旨在逐步研發貫穿電子元件生產全過程的關鍵裝置:從半導體矽片的製造到晶片的分離。”

開發計劃與功能

工作預計於2028年11月30日完成,招標於11月11日啟動,執行方將在12月10日確定。這項工作是俄羅斯國家科學技術發展計劃的一部分。

新裝置將執行以下工藝:

- 平面化具有拓撲結構的二氧化矽介電層;

- 清洗矽片;

- 測量介電層厚度。

平面化是消除半導體矽片表面不平整的過程,對後續如離子注入等製造步驟至關重要。正如獨立專家兼RUSmicro Telegram頻道作者阿列克謝·博伊科所指出,均勻的表面對於確保離子精確分佈和後續製造步驟非常重要。

平面化是消除半導體矽片表面不平整的過程,對後續如離子注入等製造步驟至關重要。正如獨立專家兼RUSmicro Telegram頻道作者阿列克謝·博伊科所指出,均勻的表面對於確保離子精確分佈和後續製造步驟非常重要。

“CMP裝置開發是建立本土生產裝置以實現晶片製造生產線的一部分,”博伊科補充道。

根據任務書,裝置元件和材料必須為本土生產,以避免對外國製造商的關鍵依賴。

俄羅斯微電子領域的技術推進

工業和貿易部正在進行大規模工作,推動俄羅斯國內裝置生產,包括材料、裝置製造以及微電子生產的加強和現代化。例如:

2023年3月,工業和貿易部撥款超過20億盧布,用於開發生產晶片所需材料;

2024年9月,啟動招標開發矽片儲存容器的清洗和乾燥裝置,預算為4.768億盧布;

2024年11月,撥款4億盧布,用於輕摻雜單晶矽片生產技術,計劃到2027年實現每年生產10萬片,且成本與同類進口產品相當;

撥款近5億盧布,用於開發光刻機調整裝置,預計在2027年第二季度完成。

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