在IEDM 2024大會上,代工(Intel Foundry)介紹了新的技術突破,以幫助推動半導體行業邁向未來的十年甚至更遠的將來。英特爾不但展示了有助於改善晶片內部互連的新材料,還率先報告了採用先進封裝的異構整合解決方案,將吞吐量提升了100倍。
英特爾代工已經確定了幾條路徑,以解決未來製程節點互連擴充套件方面的限制,包括:
減成法釕互連技術(subtractive Ruthenium) - 這是一種新的關鍵替代金屬化材料,團隊首次展示了一種實用、經濟、大批次生產相相容的新工藝。在間距小於或等於25nm的情況下,最高可將線間電容降低25%,有助於改善晶片內互連。
選擇性層轉移(Selective Layer Transfer,SLT) - 這是一種用於先進封裝的異構整合解決方案,能將吞吐量提升高達100倍,從而實現了超快速的晶片間封裝(chip-to-chip assembly)。與傳統的晶片到晶圓鍵合相比,具有更好的靈活性,可以實現更小的晶片尺寸和更高的寬高比,允許更高的功能密度,並提供了更高效、更具成本效益的解決方案。
Silicon RibbonFET CMOS(互補金氧半導體) - 團隊展示了柵極長度為6nm的Silicon RibbonFET CMOS電晶體,將柵極縮放到極限。
用於縮放GAA 2D FET的柵極氧化層(Gate Oxide)模組 - 為了進一步加速超越CFET的柵極全方位創新,團隊展示了其在製造柵極長度為30nm的GAA 2D NMOS和PMOS晶體管制造方面的工作。
英特爾高階副總裁兼英特爾代工技術研究總經理Sanjay Natarajan表示:“英特爾代工繼續幫助定義和塑造半導體行業的路線圖。我們的最新突破強調了公司致力於提供在美國開發的尖端技術,使我們能夠很好地幫助平衡全球供應鏈,並在《晶片法案》的支援下恢復國內製造業和技術領先地位。”