上海芯東來半導體科技申請高精度滑臺元件及光刻機工作臺專利，避免滑臺在運動過程中發生輕微抖動和摩擦

金融界2024年11月14日訊息，國家智慧財產權局資訊顯示，上海芯東來半導體科技有限公司申請一項名為“高精度滑臺元件及光刻機工作臺”的專利，公開號CN 118938612 A，申請日期為2024年10月。

專利摘要顯示，本發明提供了一種高精度滑臺元件及光刻機工作臺，高精度滑臺元件包括基座、滑臺、滑臺驅動部以及調節部；所述滑臺用於承載晶圓載臺；基座設有直線導軌，滑臺安裝於直線導軌，滑臺驅動部連線於滑臺以驅動滑臺沿直線導軌運動。調節部的第一端連線於滑臺驅動部，調節部的第二端轉動連線於滑臺的一端，調節部能夠在滑臺驅動部的驅動下繞滑臺的一端朝靠近基座或者遠離基座的方向轉動。能夠避免滑臺在運動過程中發生輕微抖動和摩擦，提高了滑臺靜態效能和滑臺元件的使用壽命。

本文源自：金融界

作者：情報員