日本首臺ASML EUV光刻機年末運抵：用於Rapidus晶圓廠試產

IT之家 11 月 15 日訊息，《日本經濟新聞》當地時間今日凌晨報道稱，日本先進半導體代工企業 Rapidus 購入的第一臺 ASML EUV 光刻機將於 2024 年 12 月中旬抵達北海道新千歲機場，這也將成為日本全國首臺EUV 光刻裝置。

根據 Rapidus 高管以往表態，該光刻機是較早期的 0.33 NA 型號，而非目前全球總量不足 10 臺的 0.55 NA（High NA）款。

據悉本次整個空運任務將分多架次完成，新千歲機場還為這臺對精度要求極高、不耐振動的“龐然大物”對機場顛簸不平的路面進行了重新鋪設；此外 ASML 已在千歲市建設了客戶服務中心，將支援該系統的接收。

▲ ASML 的 0.33 NA EUV 光刻機 NXE:3800E

按 Rapidus 此前的規劃，該公司定於 2025 年 4 月啟動先進製程原型線，該產線將擁有包括 EUV 光刻機在內的共計 200 餘臺裝置。根據千歲市當地政府的說法，Rapidus 的 IIM-1 晶圓廠截至上月底已完成 63% 的施工進度。

▲IIM-1 晶圓廠概念圖

除 Rapidus 外，日本未來還有至少兩家晶圓廠將先後匯入先進的 EUV 光刻機：

美光 1-gamma（IT之家注：即 1c nm）製程 DRAM 記憶體需使用 EUV，美光廣島工廠預計於 2025 年內匯入 EUV 光刻裝置為 2026 年的量產做準備；臺積電控股子公司 JASM 預定 2027 年投產的第二晶圓廠包含 6nm 產線，也需要 EUV 機臺。