創客君獲悉，南京埃米儀器科技有限公司（以下簡稱“埃米儀器”）近日完成數千萬元Pre-A輪融資，由博將資本領投。
本輪融資將用於進一步提升先進半導體制程用的高精密量測裝置的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。
埃米儀器成立於2022年8月， 是一家致力於研發和生產用於晶片製造高精密量測裝置的技術企業。公司坐落於南京江北新區研創園，成立以來一直引領國內高精密3D量測裝置的國產化，攻克核心技術。
公司以晶片製造企業為主要客戶，產品聚焦於奈米/亞奈米級三維結構的高精密高速量/檢測裝備，主要應用於晶片製程中的微結構量測和缺陷檢測，解決相關領域的卡脖子技術。
埃米儀器創始人、海歸青年科學家楊見飛博士曾在國際頂尖半導體裝置公司負責開發先進封裝和量測裝置核心演算法開發和架構設計，制定裝置演算法路線圖。
當前，埃米儀器擁有一支以國家級人才為主的研發核心團隊，目前已與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立了密切合作關係。
公司產品從最初的工藝開發到樣機測試和市場對接，大部分都在南智光電研究院建設的光電技術創新中心這一平臺內完成。“至少幫助我們縮短了50%的研發週期。”談起團隊成果的落地發展，楊見飛充滿了信心。
目前，埃米儀器透過申請專利構築技術壁壘，公司已得到專利授權20餘項，相關專利覆蓋原子力顯微鏡和光學量測裝置，涉及光電器件、精密機械、定位系統、電氣設計等。
埃米儀器產品應用領域
量測裝置是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻後第四大市場的半導體裝置，規模佔半導體裝置市場份額的15%左右。量測裝置能在生產中監測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發現問題、改善工藝、提高良率，起到至關重要的作用。
據瞭解，原子力顯微鏡（AFM）是目前精度最高的量測裝置之一（原子級，約為一根頭髮絲的60萬分之一），也是目前唯一能集檢測和修復為一體的技術手段。可以應用於區域性粗糙度量測、高深寬比三維結構量測、鍵合三維結構、光罩修復、光刻和刻蝕關鍵尺寸量測等方向。
隨著積體電路製程繼續朝高階推進，AFM在先進製程中正在成為主力量測裝置，國際巨頭（ASML等）已開始進行佈局。其中以線上原子力顯微鏡為主打產品的荷蘭Nearfield Instruments（曾獲得淡馬錫、三星等多家國際資本累計近2億歐元的融資）已被列入歐盟重點保護/支援企業之一。
而埃米儀器是國內唯一一家將線上工業級原子力顯微鏡產品推向高階製程的公司，埃米儀器工業級高通量原子力顯微鏡技術路線已得到客戶的認可和大力支援。
AFM主要由掃描隧道顯微鏡(STM)發展而來，AFM透過一個微小的針尖與樣品表面相互作用，以實現高解析度的表面成像。針尖與樣品之間的相互作用力可以是吸引力或斥力。根據針尖與樣品表面之間的距離和作用力的性質，AFM主要有三種成像模式：接觸模式、非接觸模式和輕敲模式。
線上工業級原子力顯微鏡量測裝置APEX-X1（全自動機臺）
科研級原子力顯微鏡量測裝置APEX-1000 （半自動機臺）
截至目前，埃米儀器已推出線上工業級原子力顯微鏡量測裝置APEX-X1（全自動機臺）、科研級原子力顯微鏡量測裝置APEX-1000 （半自動機臺）、高速光學掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。
未來，埃米儀器將持續推出混合量測裝置、高通量原子力顯微鏡等裝置。其線上工業級原子力顯微鏡APEX-X1已完成某晶片頭部企業的產品正式交付。
本文素材來源：
企查查、IT桔子、埃米儀器官網
南京日報《科技成果轉化，南京一“貫”到底》
博將資本《埃米儀器完成數千萬元Pre-A輪融資，博將資本領投》
創客公社編輯整理
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