項中專吹牛皮,說三摺疊是人類最高水平。真丟人。
大批文科偽正能量蜂擁而上,吹捧三摺疊,說比4奈米晶片摺疊到2奈米晶片厲害。笑死人了。
我前文給項中專講解4奈米晶片到2奈米晶片需要克服新的物理規律導致的物理極限。很多偽正能量根本聽不懂。我就講得通俗一點吧。
在7奈米以下工藝,EUV光刻曝光時,開始出現奈米尺度下的隨機缺陷問題。
隨機缺陷是極其罕見但致命的圖形化失敗,例如相鄰線之間的橋接、線斷裂和孔/點圖案缺失,均低於 20 nm 範圍。
由於在 300 毫米的晶圓上甚至在單次曝光視場上形成的曝光特徵超過 1 萬億個,因此需要將隨機缺陷的機率抑制在百萬至十億分之一以下。
這種隨機缺陷誘導良率出現塌縮,比如下圖,EUV光刻曝光某種光刻膠,它在11奈米的時候還可以勉強工作,但是在10奈米的時候直接就報廢了。
項立剛、張維為們哪裡懂這個?