上海亞曼光電科技取得光刻機投影物鏡安裝調平裝置專利，方便對光刻機的投影物鏡進行調平

金融界2024年11月30日訊息，國家智慧財產權局資訊顯示，上海亞曼光電科技有限公司取得一項名為“一種光刻機投影物鏡安裝調平裝置”的專利，授權公告號CN 222071054 U，申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示，本實用新型涉及光刻機投影物鏡調平領域，尤其涉及一種光刻機投影物鏡安裝調平裝置。包括機體和連線結構，所述機體的一側設定有底板，所述底板藉助連線結構與機體進行連線，所述底板的上表面安裝有移動元件，所述移動元件的一端安裝有加工物鏡，所述底板的一端設有輔助結構，所述輔助結構包括兩個滑槽，兩個所述滑槽開設在底板上，所述滑槽的內壁滑動連線有滑塊，所述滑槽的內部轉動連線有絲桿，所述絲桿與滑塊螺紋連線，所述絲桿遠離滑槽的一端固定連線有把杆，所述滑塊的上表面固定連線有連線杆，本實用新型提供的一種光刻機投影物鏡安裝調平裝置具有可以方便對光刻機的投影物鏡進行調平的優點。

本文源自：金融界

作者：情報員