禾豐光芯申請透射式濾波器及其製備方法、EUV光刻機專利，實現即插即用

金融界2024年11月11日訊息，國家智慧財產權局資訊顯示，四川禾豐光芯科技有限公司申請一項名為“透射式濾波器及其製備方法、EUV光刻機”的專利，公開號 CN 118915383 A，申請日期為 2024年5月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種透射式濾波器及其製備方法、EUV光刻機。透射式濾波器包括一個或多個濾波器單元，每個濾波器單元包括：襯基框架，包圍中心開口；支撐層，跨越所述中心開口支撐在所述襯基框架上；濾波層，設定在所述支撐層上，所述濾波層包括形成在所述中心開口的區域上方的週期性濾波陣列，所述週期性濾波陣列以包圍濾波開口的濾波結構為基礎單元進行週期性排列，其中，所述濾波層至少部分地嵌入所述支撐層中。根據本發明的透射式濾波器可以實現即插即用，可以實現中紅外輻射波長的超高效率抑制，並能夠在很大程度透過一同入射的EUV光波，微納結構牢固。

本文源自：金融界

作者：情報員