晶片裝置製造商阿斯麥(ASML)2月10日向媒體展示新一代極紫外光刻機(EUV),型號為:TWINSCAN EXE:5000。這臺光刻機大小約一輛雙層巴士,重量約兩架空客A320飛機、價值高達3.5億歐元(約合27億元人民幣)。該裝置對ASML在1250億美元的EUV市場保持領導地位至關重要。
ASML預計今年能出貨“數臺”High NA EUV。 已下了訂單,第一臺裝置已於去年12月送達該公司俄勒岡工廠,預定2025年啟用,開始製造晶片。
這臺EUV可以製造8nm線寬電路,比前一代小1.7倍,從而實現電晶體密度提高至2.9倍。電路越細,晶片上的電晶體就越多,處理速度和表現就越佳。 ASML高管表示,該裝置對人工智慧(AI)發展至關重要。
ASML CEO Peter Wennink上月受訪時表示,AI需要“大量計算能力和資料儲存。 如果沒有ASML,沒有ASML的技術,將無法實現。 這會是我們業務的一大驅動力。”
ASML發言人莫爾斯(Monique Mols)2月10日在媒體參觀該公司總部時說,安裝這套重達15萬公斤的系統,要用到250個貨箱、250名工程師,且需耗時6個月。
ASML從2018年開始銷售的所謂low-NA(低數值孔徑)光刻機裝置,標價是1.7億歐元(約合13.16億元人民幣)。