聯江科技申請紫外光刻物鏡及光刻機專利，成本低、效率高、曝光面積大

金融界2024年11月22日訊息，國家智慧財產權局資訊顯示，成都聯江科技有限公司申請一項名為“一種紫外光刻物鏡及光刻機”的專利，公開號CN 118981098 A，申請日期為2024年9月。

專利摘要顯示，本發明提出一種紫外光刻物鏡及光刻機，基於光學成像技術領域，紫外光刻物鏡包括由物側到像側依次佈置的物面、第一透鏡組、第二透鏡組、第三透鏡組、第四透鏡組、第五透鏡組、第六透鏡組、第七透鏡組以及像面；其中，第一透鏡組包括第一透鏡，第二透鏡組包括第二透鏡、第三透鏡以及第四透鏡，第三透鏡組包括第五透鏡以及第六透鏡，第四透鏡組包括第七透鏡以及第八透鏡，第五透鏡組包括第九透鏡、第十透鏡以及第十一透鏡，第六透鏡組包括第十二透鏡、第十三透鏡以及第十四透鏡，第七透鏡組包括第十五透鏡、第十六透鏡以及第十七透鏡，以使得物方數值孔徑達到0.09，像方有效視場達到25mm。本方案透過採用十七枚透鏡，成本低、效率高、曝光面積大。

本文源自：金融界

作者：情報員