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打破40年壟斷!國產120nm解析度光刻膠量產,美媒:低估中國了

2024-12-21 13:21:20

光刻膠產業化再度傳出利好。

近日,光谷企業在半導體專用光刻膠領域實現重大突破,國產光刻膠透過量產驗證,武漢太紫微公司 T150 A 解析度達 120nm。

較於被業內稱之為‘妖膠’的國外同系列產品 UV1610,T150 A 在光刻工藝中表現出的極限解析度達到 120nm,且工藝寬容度更大,穩定性更高,堅膜後烘留膜率優秀,其對後道刻蝕工藝表現更為友好,透過驗證發現 T150 A 中密集圖形經過刻蝕,下層介質的側壁垂直度表現優異。”

此前我國在光刻膠領域,被美壟斷近四十年。

彼時,光刻膠巨頭JSR的CEO埃裡克·約翰遜曾如此嘲諷道:“就算把光刻膠的製造論文給中國,他們也無法攻克。

然而眨眼間,中國企業就狠狠打了約翰遜的臉,他們用實實在在的技術專利讓約翰遜的言論淪為國際笑談。就連習慣帶節奏的美媒都不得不承認:中國,這次贏麻了!

光刻膠,是晶片生產過程中發揮著關鍵作用的一種重要材料,缺少它,哪怕擁有再好的光刻機也無法生產出晶片。

高階光刻膠對純度有極高的要求,其生產技術一直被美國、日本等公司牢牢把持著,佔據了全球約80%以上的市場份額。我國光刻膠產業由於起步較晚,只能生產一些低端光刻膠,高階光刻膠則長期依賴進口。

如此重要的產業,自然也不會被美國放過,隔三差五就用它拿捏我國,並揚言:“只要我們一斷供,中企就得完蛋!

我國科學家看到這一幕,便發誓要攻克高階光刻膠難題,重新掌握主動權。正是憑藉著這一股不服輸的韌勁,來自國內的一家小廠——博康,終於在高階光刻膠領域取得重大突破,一舉將國產光刻膠純度提高10倍,徹底打破老美壟斷局面,令一眾外媒如喪考妣。

就是要告訴他們,不要以為憑藉起步早,就可以仗勢欺人,只要給中國時間,我們可以在任何領域和美國一較高下”。我國科學家表示。

事實上,這已經不是美國第一次在尖端科技領域挑釁我國了。此前,在高鐵建設、空間站、GPS以及備受矚目的生命科學領域,我國都受到老美打壓。如今,中國的高鐵建設早已做到世界第一,空間站與GPS亦處於前列水平,就連老美意圖壟斷的抑衰科技成果也已被我國一手掌握

這與老美在光刻膠領域的做法一模一樣:一邊打壓,一邊還要掙我國的錢。不過,當高階光刻膠技術被中方打了個漂亮的翻身仗之後,老美這些吃相難看的花招,就再也翻不起水花。

我國“小廠”博康的技術突破後,迅速引來了大量的國際關注,但也有一些媒體質疑“中方在打腫臉充胖子,實際上並沒有突破”。

現實的耳光來得凌厲且響亮。原來博康早在2021年就獲得了華為旗下公司的3億元投資,在宣告技術突破後,博康便迅速投入到量產,正式推向市場,結果在歐美老牌大廠眼皮子底下掌握了80%的技術,奪下5%的市場份額。

要知道此前中國半導體光刻膠國產化率仍處於較低水平,KrF、ArF光刻膠對外依賴較為嚴重,國產化率均僅在1%水平。

除博康之外,國內其他光刻膠廠商也迎來了技術突破,如南大光電的ArF光刻膠也已建立起了產值25噸的生產線;上海新陽公司研發的KrF光刻膠透過認證,併成功獲得訂單。

未來光刻膠100%國產化勢在必得。如此看來,老美的陰謀已然被中國一步步粉碎。

現下太紫微公司的這一最新突破,不僅證明了中國在光刻膠領域的自主創新能力,也為半導體制造行業帶來新的希望。隨著國產光刻膠技術的不斷成熟和市場驗證,預計國內光刻膠企業將在未來佔據更高的市場份額,為中國半導體產業的自主可控提供有力支撐。

而且我們相信這只是一個開始,技術反攻的號角才剛剛吹響。

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